产品特性:气泡传感器 | 品牌:AQ | 型号:DAP14-25 |
感应方式:无 | 感应距离:无 | 响应时间:无 |
输入电压:无V | 输出信号:无 |
瑞典 AQ 气泡传感器 DAP14-25 型号 光刻设备工艺优化领域应用分析
产品原理介绍:
AQ气泡传感器无需直接接触液体即可工作。使用声波监测流经传感器的液体。声波记录气体和颗粒的存在,并将结果显示在外部控制单元上。
应用分析:
在芯片的光刻工艺中,气泡传感器可以用于检测光刻液中的气泡。光刻是制造芯片中的关键步骤之一,而气泡可能会影响到光刻图形的准确性和清晰度。通过实时监测气泡的存在,可以确保光刻过程的稳定性和准确性。
型号:DAP4-25,内径:4mm,Od(外径):49mm,TC(三夹连接):25
型号:DAP6-25,内径:6mm,Od(外径):49mm,TC(三夹连接):25
型号:DAP10-25,内径:10mm,Od(外径):49mm,TC(三夹连接):25
型号:DAP14-25,内径:14mm,Od(外径):49mm,TC(三夹连接):25
型号:DAP22-50,内径:22mm,Od(外径):54mm,TC(三夹连接):50